.::■研究内容の説明■::.

MOVPEとは
What's MOVPE?
　

有機金属気相成長(MOVPE)は有機金属を加熱し，熱エネルギーにより化学反応させ，半導体単結晶を成長させる方法である． 特徴 大面積の成長層が得られる． 成長層の伝導型キャリア密度の制御や，成長層厚さの精密制御と多層化が可能

特徴
    　
  • 大面積の成長層が得られる．
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  • 成長層の伝導型キャリア密度の制御や，成長層厚さの精密制御と多層化が可能


MOVPEプロセス
process of MOVPE
　
    　
  1. リアクターへの基板(GaAs,Si)導入
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  2. 基板加熱(400〜600℃)
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  3. リアクターへの原料有機金属ガスの導入
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  4. 熱による原料ガスの分解と反応→CdTe単結晶成長,排ガスの生成
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  5. 成長終了(CdTe厚膜の形成)



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